本課程包括微機電系統的基本概念與工程技術以及如何應用於生物醫學用途上，其中包含photolithography, bulk micromachining, wafer bonding, surface micromachining, thin film depositions, etchings in gas and liquid phases, soft lithography, micromolding, microimprinting, polydimethylsiloxane (PDMS), polymeric materials for microfluidics, 和生物醫學sensors及actuators應用例子。